Desarrollo de microvigas para microscopia de barrido
Este trabajo presenta el diseño y desarrollo de microvigas en voladizo, con la finalidad de estudiar su comportamiento para su futura aplicación en microscopía de barrido (SPM), y el caso particular de la microscopía de fuerza atómica (AFM). Para ello, se analiza el caso de la flexión de microvigas...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht: |
2013
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://hdl.handle.net/10872/3338 |
| Tags: |
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