Desarrollo de microvigas para microscopia de barrido

Este trabajo presenta el diseño y desarrollo de microvigas en voladizo, con la finalidad de estudiar su comportamiento para su futura aplicación en microscopía de barrido (SPM), y el caso particular de la microscopía de fuerza atómica (AFM). Para ello, se analiza el caso de la flexión de microvigas...

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Bibliographic Details

Published:	2013
Subjects:	Microscopia de Fuerza Atómica Microvigas Flexión Apalancada
Online Access:	http://hdl.handle.net/10872/3338
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